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使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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光刻.com從旋涂機（涂布機）到掩模對準器（曝光裝置），以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實驗室機器。 此外，作為測量，我們還處理各種測量機，用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
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